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激光剥离机

激光剥离机

产品特点 1、线形光斑的激光整形技术，实现在不同尺寸加工样品上的剥离操作 ；
2、气浮式的工作台实现无接触无摩擦的加工形式，避免产生粉尘颗粒，保证装备内部的洁净度；
3、高精度、大尺寸、双工位的stage设计，可有效提高生产效率 ；
4、panel载台吸附设计。激光设备的物料载台的真空吸附部分，采用了分区域加时间延迟的设计，先吸附中间部分，再逐次往外围吸附，保证带柔性膜的panel可以无皱褶高效吸附。

产品应用

应用范围：柔性显示屏激光剥离。

产品参数

主要参数加工尺寸1"-8"
加工速度180mm/s
加工精度0.1μm
平台参数1）移动精度
X 轴： 0.1μm
Y 轴： 0.1μm
Z 轴： 1μm
Theta 轴： 0.2°
2）定位精度
X 轴： ≤±4μm
Y 轴： ≤±4μm
Z 轴： ≤±5μm
Theta 轴： 0.1°
激光器参数1）激光器波长： 308nm
2）激光能量： ≥600W
3）激光脉冲功率： 1000mJ
4）总频率： 600 Hz
5）脉冲宽度： 24±4ns
6）脉冲稳定性： ≤1%
工艺方式DPSS激光剥离
制程类型激光剥离
Tact time1":4.5s
8":6s
稼动率0.9


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